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接觸角測試儀對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)晶圓的潔凈度測量

更新時間:2021-01-08點擊次數(shù):1606

 接觸角是指在氣、液、固三相交點處所作的氣-液界面的切線,此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ,接觸角測量是表面性能檢測的主要方法。

PZ-200SD研究型接觸角測量儀是采用光學(xué)成像的原理,設(shè)備采用圖像輪廓分析方式測量樣品表面接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進(jìn)后退角、表面能等性能,設(shè)備采用全自動進(jìn)液裝置,性價比高、拓展性強(qiáng)、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求,目前已經(jīng)使用在眾多高校院所及企業(yè)。


LCD面板行業(yè):玻璃面板潔凈度與鍍膜質(zhì)量測量;TFT打印電路、彩色濾光片、 ITO導(dǎo)體膠卷等前涂層質(zhì)量測量;半導(dǎo)體,平面顯示器、光學(xué)行業(yè)掩膜親水性測量
印刷、塑料行業(yè):表面清潔與附著質(zhì)量測量;油墨附著度測量;催化劑測量;膠水膠體性質(zhì)兼容性測量;染料的緊扣度;
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè):晶圓的潔凈度測量;HMDS的處理控制;CMP的研究測量、光阻與顯影劑的研究;
化學(xué)材料研究:防水與親水性能材料研究探討;表面活性與清潔劑的張力、濕性;黏性增強(qiáng)與附著表面能測量;
IC封裝:基質(zhì)表面潔凈度;原子合成氧化識別;BGA焊接表面;環(huán)氧化物的附著度測量;
紙張、紙尿褲、衛(wèi)生護(hù)墊等材料的吸水性以及可印刷性等性質(zhì)分析;
纖維、織物、碳纖維、玻璃纖維與樹脂的新功能開發(fā)、表面性質(zhì)、印染等性質(zhì)分析;
液晶屏、硬盤、屏幕保護(hù)膜、觸摸屏、LCD、LED、光學(xué)零件、半導(dǎo)體芯片、Wafer、微電子等行業(yè)表面清潔度分析;以及質(zhì)量控制、新材料開發(fā)研究以及等離子處理等表面處理效果評估;
聚合物、高分子材料及金屬材料表面修飾、表面改性、印刷性質(zhì)等分析;
薄膜、偏光片、膠片、感光材料的新材料開發(fā)、印刷性等分析;
生物材料、仿生材料的研發(fā)及其應(yīng)用分析,如檢測和表征蛋白質(zhì)、肺表面活性劑、表征生物兼容性材料(高分子材料)的潤濕和粘附性、競爭以及粘附的蛋白質(zhì)。
食品工業(yè):如人造骨、隱形眼鏡、眼鏡玻璃的潤濕、吸附性質(zhì)分析;
超疏水和超親水材料的研究、可潤濕性分析;
空調(diào)親水鋁箔、絕緣子、巖芯、煤礦、瀝青的潤濕性分析以及新材料的研發(fā);
電潤濕接觸角轉(zhuǎn)化、電透鏡研究等;
表面活性劑應(yīng)用研究,如化妝品、清潔劑、乳液、石油行業(yè)(三次采油)等;
噴霧、農(nóng)藥、油漆、墨水、油墨和涂料行業(yè)配方設(shè)計及潤濕性分析;

四·技術(shù)規(guī)格

接觸角主機(jī)

外形尺寸

800mm(長)*190mm(寬)* 640mm(高)

重量

21KG

電源

220V / 60HZ

光源系統(tǒng)

光源

密集LED可調(diào)節(jié)藍(lán)色基調(diào)工業(yè)級冷光源

壽命

使用壽命達(dá)貳萬伍仟小時以上

注射單元

注射器

配套高精密石英注射器、容量500μL

滴液

軟件控制自動進(jìn)液,精度高達(dá)0.01μL

注射單元移動

上下50mm;  左右50mm

采集系統(tǒng)

CCD

高速工業(yè)級芯片、25幀/S、130W像素

鏡頭

0.7-4.5倍高清工業(yè)級連續(xù)變倍式顯微鏡

采集系統(tǒng)調(diào)節(jié)

前后50mm(3mm微調(diào))、視角角度可調(diào)(平視、俯視、仰視、360°旋轉(zhuǎn)等多視角觀察)

樣品臺裝置

工作臺面尺寸

160mm*200mm

樣品尺寸

10寸

樣品臺移動

前后移動 手動,行程60mm,精度0.1mm

左右移動 手動,行程35mm,精度0.1mm

上下移動 手動,行程80mm,精度0.1mm

分析軟件

接觸角測量范圍

0-180°

接觸角測量精度

±0.1°

表界面張力測量范圍

0-2000mN/m

表界面張力測量精度

0.01 mN/m

分析軟件功能

1、接觸角測量分析軟件自動擬合法(一鍵自動擬合,

   不存在人工誤差)包括:圓法擬合、橢圓/斜橢圓擬合法、LY、微分橢圓法/微分圓法

2、動態(tài)接觸角擬合(批量擬合多張圖像)包括:潤濕性能測試(視頻連續(xù)擬合計算;

  1. 表面能量計算;
  2. 表界面張力測量;
  3. 前進(jìn)后退角測量
  4. 粘附

五·符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

1.GB/T 24368-2009(玻璃表面疏水污染物檢測);

2.SY/T5153-2007(油藏巖石潤濕性測定方法);

3.ASTM D 724-99(2003)(紙的表面可濕性的試驗方法);

4.ASTM D5946-2004(塑料薄膜與水接觸角度的測量);

5.ISO15989(塑料薄膜和薄板電暈處理薄膜的水接觸角度的測量);

 

六·產(chǎn)品特點(Product features)

主機(jī)采用高強(qiáng)度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計理念,集成芯片電路控制,采納接觸角設(shè)備的設(shè)計精華與配置,保證儀器具有穩(wěn)定性;
采用工業(yè)級密集可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)(壽命25000H以上),保證成像更清晰,同時避免額外熱度所導(dǎo)致的小液滴揮發(fā);

     

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